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AIP Advances | 制作低損耗絕緣體上鈮酸鋰波導(dǎo)的方法

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發(fā)布時(shí)間: 2024-9-29 08:02

正文摘要:

引言 * L; ?  _( |9 I絕緣體上鈮酸鋰(LNOI)波導(dǎo)因其優(yōu)異的光學(xué)性能，在集成光電子技術(shù)中有廣泛應(yīng)用。然而，由于鈮酸鋰(LN)的硬度高、化學(xué)惰性強(qiáng)，且在刻蝕過程中易產(chǎn)生材料再沉積，制作低損耗LNOI波導(dǎo)具 ...

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